Zdolności techniczne lub zawodowe: min. 1 dostawa urządzenia technologicznego do trawienia/obróbki/modyfikacji materiałów w fazie gazowej z HF, z instalacją i uruchomieniem, wartość ≥ 600 000 zł brutto, ostatnie 3 lata; całość (dostawa+instalacja+uruchomienie); przeliczenie walut po kursie NBP (gdy waluta ≠ PLN)
7
Kryteria oceny ofert
Widoczne 50%
Cena oferty brutto: 60%
Gwarancja: 20% – przedłużenie na urządzenie z kompletem materiałów
Formularz oferty — Załącznik nr 1 do SWZ - Przedmiotowy środek dowodowy — potwierdzenie selektywności trawienia LPCVD SiO₂ względem PECVD SiN
Druga połowa streszczenia za darmo
Odsłoń całe streszczenie SWZ
Z każdej z 10 sekcji pokazujemy połowę. Załóż darmowe konto, żeby odsłonić pozostałe 9 zdań — pełne warunki udziału, dokumenty i analizę ryzyka Janusza. Bez karty, 14 dni za darmo.
14 dni za darmo Bez karty płatniczej Rezygnacja w 1 klik
Opis przedmiotu zamówienia
Streszczenie AI · Janusz
Część 1 (dostawa): urządzenie do izotropowego trawienia w oparach kwasu fluorowodorowego (VHF etching system) — 1 sztuka, z instalacją i uruchomieniem, z systemu bezpieczeństwa (detekcja wycieków HF, czujniki w strefie operatora), z prawem opcji na monitor końca procesu oraz opcję selektywności względem azotku krzemu.
Pytania i odpowiedzi
Wyjaśnienia treści SWZ udzielone przez zamawiającego. Odpowiedzi wiążą wszystkich wykonawców — także tych, którzy nie zadali pytania.
Sugerujemy uzupełnienie Działu B punkt 3 o czujniki wykrywania gazów w strefie operatora oraz obszarze w pobliżu układu wydechowego. Uzasadnienie: Fluorowodór (HF) jest bezbarwnym, silnie toksycznym gazem, nawet przy niskich stężeniach gazu objawy mogą pojawić się dopiero po kilku lub kilkunastu godzinach. W wskazanym punkcie brak ochrony strefy operatora, a więc samego operatora.
Wskazany zapis jednoznacznie wymaga dostarczenia systemu trawienia w oparach fluorowodorowych ze wszystkimi systemami bezpieczeństwa zapewniającymi informację operatorowi o potencjalnych stanach niebezpiecznych, w tym w szczególności o nieszczelnościach komory procesowej i wycieku par fluorowodorowych. Jednocześnie Zamawiający nie narzuca konkretnego rozwiązania technicznego służącego realizacji powyższego wymagania. Jeżeli dla zapewnienia wymaganego poziomu bezpieczeństwa oraz prawidłowej realizacji funkcji określonych w punkcie 3 konieczne jest zastosowanie dodatkowych czujników, w tym czujników wykrywających obecność fluorowodoru (HF) w strefie operatora lub w obszarze w pobliżu układu wydechowego, należy je przewidzieć i zastosować w ramach oferowanego systemu. Oferowany system musi spełniać wszystkie wymagania bezpieczeństwa określone w Dziale B, punkt 3, niezależnie od zastosowanych przez Wykonawcę rozwiązań technicznych.
Dear CEZAMAT Buyer Team... Could you kindly advise where we can access or obtain these documents (English versions)?
Dokumenty postępowania zostały sporządzone i są dostępne wyłącznie w języku polskim. Wykonawca winien samodzielnie przetłumaczyć dokumenty na język obcy.
...would it be possible to extend the bidding deadline for at least two weeks?
Zamawiający nie zmienia terminu składania ofert.
...would it be possible to negotiate the commercial terms, as several provisions do not align with our standard contractual terms...?
Zamawiający zamierza zawrzeć umowę w sprawie zamówienia publicznego na warunkach określonych we wzorze przedstawionym w dokumentach zamówienia – załącznik nr 3 do specyfikacji warunków zamówienia. Treść umowy staje się wiążąca dla Zamawiającego i Wykonawcy po upływie terminu składania ofert.
Does the bid need to include a process pump?
Zamawiający wymaga zrealizowania wszystkich funkcjonalności urządzenia określonych w opisie przedmiotu zamówienia (załącznik nr 2 do specyfikacji warunków zamówienia). Jeżeli rozwiązanie oferowane przez Wykonawcę wymaga zastosowana takiej pompy, to Wykonawca powinien uwzględnić to wymaganie w ofercie.
